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专注工业烟尘废气治理20余年
电子行业废气治理解决方案
行业概况
随着电子行业的迅速发展，电子产品制造产生的废气污染问题也随之而来。电⼦⼯业中的VOCs种类常见的有30多种，主要来自半导体器件、电子元器件、电子件、平板显示器、整机机壳等电子产品的表面涂层过程中使用的溶剂基涂层以及清洁过程中使用的有机溶剂。如果不对这些废气进行处理，当有害物质漂浮在空气中时，这不仅会污染我们的环境，还会危害我们的健康。尤其是工作人员，如果长时间吸入这些气体，将会对肺产生巨大影响，从而导致各种疾病。
电子产品制造主要分为六大类：电子专用材料、电子元件、印制电路板、半导体器件、显示器件及光电子器件、电子终端产品(含涂装工艺在内)。
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废气特点
电子工业是VOCs排放的主要行业之一，电子工业废气VOCs排放种类多，组分复杂。一般来说，废气排放中风量较大，VOCs浓度较低。半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大(通常大于11000m/h)和浓度低(通常小于25ppmv)的特点。排放VOCs废气中还含有酸性气体、碱性气体和一些有毒气体。
常见的VOCs废气种类有：异丙醇，甲乙酮，甲苯，乙酸丁酯，甲醇，乙醇，丙酮，二甲苯，丙二醇单甲醚，苯乙烯，乙酸乙酯，正丁醇，甲基异丁基酮，二甲基氯，环已酮，乙苯，正庚烷，甲基氢呋喃，三氯乙烯和氯仿。
治理工艺
针对电子行业VOCs废气排放特点 ，电子行业废气处理常采用的方法有：吸附法、焚烧法等。吸附法利用多孔性固体吸附剂处理混合气体，吸附剂选择性高，活性炭属非极性吸附剂，对非极性化合物有较强的吸附能力，一般可净化低浓度VOCs;焚烧法是沸石浓缩转轮 + 焚烧方法使用的浓缩轮是一个装满吸附剂的旋转轮，废气由旋转轮的上游侧进入浓缩轮的吸附区，使VOCs 得到浓缩，再经脱附燃烧处理。
1. 针对电子行业产生的调配、点胶、喷墨、喷涂/涂布、烘干等废气，可以考虑以下几种技术进行解决：
1) 预处理+ 活性炭吸附 -脱附+ 催化燃烧( CO )工艺;
2) 预处理+ 沸石转轮 +蓄热式焚烧炉(RTO )工艺;
温度较高的烘干废气建议采用蓄热式焚烧或催化燃烧装置，如以上第二种工艺。
2. 针对电子行业产生的刻蚀等废气，建议采用喷淋塔+高效吸附+催化燃烧或其他等效方式处理。
3. 对于半导体、TET-LCD和LED、PCB等企业有机废气一般还含有酸性气体、碱性气体和一些有毒气体，治理技术建议采用组合方式，喷淋塔淋洗+沸石浓缩转轮+焚烧方法，对电子终端产品企业多采用活性炭吸附，进行“三防”喷涂需增加除漆雾装置。
案例分享
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废气治理案例--电子行业(铠嘉电子)
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废气治理案例--电子行业（蓝思科技） |
废气治理案例--电子行业（衡阳比亚迪） |
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